上海超硅半導體股份有限公司(以下簡稱“上海超硅”或“公司”)于2008年成立于上海松江，多年潛心于集成電路用200mm/300mm大尺寸單晶硅晶體生長系統、人工晶體、半導體材料等相關領域產品的研發、生產與銷售，主要產品包括集成電路用200mm、300mm大尺寸拋光硅片、外延片、氬氣退火片等。項目生產工藝設備均置于潔凈廠房內，且噪聲級較小。噪聲源主要是冷凍機組、空壓機、真空泵、風機、水泵，以及應急發電機組等輔助動力設備。
生產區排風有一般廢氣(廢熱)排風和工藝排風。工藝排風分為酸性廢氣、堿性廢氣處理裝置布設在硅片生產廠房屋頂，凈化后的工藝廢氣經排氣筒排放。在工程設計上除采用風機減振臺基礎，通風機的進風和出風口均加設消聲器，接頭處采用柔性軟接頭；門窗均采用隔聲門、隔聲窗。對于設置在屋頂的風機，加設風機隔聲罩，以降低風機噪聲對周圍環境的影響。
01 控制噪聲源
控制噪聲源是防治噪聲的根本措施，具體措施包括：
采用較低噪聲設備：1. 工藝排氣設備采用較低噪聲的設備，保證風機1.5m范圍外噪聲低于85dB；2. 洗滌塔循環水泵采用較低噪聲的設備，保證水泵1.5m范圍外噪聲低于70dB。
隔離噪聲源：對于高噪聲源——電動機采取隔離措施，在電動機上設置防護罩，減少噪聲傳播。
02 控制噪聲傳播
通過以下措施控制噪聲傳播：
使用消聲材料：在洗滌塔機房的墻壁和房頂使用消聲材料，吸收或反射聲能。
設置隔振或減振裝置：在風機、循環泵、洗滌塔本體和風管的基礎與地面、墻壁聯接處設置隔振或減振裝置，防止通過固體傳播的噪聲。
03 個體防護
對于噪聲強度相對比較高的生產場所，佩戴個人防護用品是有效措施：
耳塞：由橡膠或軟塑料制成，隔聲效果可達25——30分貝。
耳罩：隔聲效果優于耳塞，效果可達30——40分貝。
04 治理效果分析
該項目噪聲控制措施的關鍵在于將強噪聲源—應急柴油發電機、空壓機和真空泵等均布置在密閉的廠房內，采取了較嚴密的降噪措施；對于設置在屋頂的冷卻塔、通風機等，均采取了相應的減振、消聲措施，抓住了項目降噪的主體，又未忽視局部，所采取的措施是有效、合理可行的。
05相關證明文件
每年按照工作場所職業衛生的要求對廢氣洗滌塔和風機區域進行噪聲檢測，均合格。
供稿：松江區生態環境局
原標題：上海第一批工業噪聲污染防治典型案例|上海超硅半導體股份有限公司廢氣洗滌塔和風機降噪案例
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