三津海MITSUVAC活塞泵型號MP - 80 - H02日本
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蘇州震拓自動化設備有限公司
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類型：無菌室監控系統品牌：pfeiffer普發型號：APR 4300描述：普發污染管理解決方案
Pfeiffer 普發 APR 4300 無菌室監控系統、環境
應用:
用于無菌室, 環境
APR 4300 可在分子層面上凈化 300 mm 的晶圓以及它們的運輸箱 (FOUP)，并在等待時間內保護它們。
可靠的凈化處理和預防污染
APR 是一個在等待時間內凈化晶圓并防止污染的系統。空氣分子污染物（簡稱 AMC）降低了半導體生產中的產量和質量而 APR 則能有效地防止晶圓和輸送箱表面吸附被污染的有機或無機分子。通過在 APR 室里進行疏散，吸附概率大幅度減少。晶圓廠可通過這種方式顯著地增加產量，且各個工藝步驟之間的等待時間也會得到優化。
APR 是如何工作的？
FOUP 既可以手動傳送，也可通過 2 個裝載端口上的懸掛式起重運輸 (OHT) 來傳送。APR 是一個帶有四疊真空室的系統，用于對晶圓和 FOUP 作凈化去污處理，這項工作由一個可靠的機器人來擔任。所有腔室都配備了真空泵站、氣箱、操作面板以及帶電源的控制器。且這些腔室均可以單獨地進行操作。當把含有晶圓的 FOUP 裝載到腔室以后，腔室中的壓力減少到 0.1 mbar。然后進行去污凈化處理。之后，該腔室采用潔凈的氮氣進行吹掃并恢復到大氣壓。此時，這些晶圓以及運輸箱不受污染已超過一天。
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