2024年6月26日 ——第六屆深圳國際半導體展覽會(簡稱SEMI-e)在深圳會展中心盛大啟幕。本屆展會的展出面積達60,000平方米，吸引了超過800家展商參展，預計將有逾60,000名行業專家與觀眾蒞臨現場，共同探索在人工智能、物聯網、5G通信、新能源汽車等領域中半導體技術的嶄新應用與未來趨勢。 
昊志機電在6號館的6H18展位上，展示了一系列精心打造的產品：劃片機主軸、高精度磨外圓電主軸、氣浮超精密晶圓研磨電主軸、晶圓超精密檢測空氣靜壓轉臺以及伺服驅動器和直驅電機等。旨在為客戶提供半導體等領域核心功能部件解決方案。
PART.01
匠心產品介紹
01
剛度與承載力優于競品達14.3%
劃片機主軸系列
01
高剛度
主軸采用創新型結構設計，剛度與承載力較市場同類產品顯著提升14.3%，能夠滿足硅晶圓、封裝基板、石英玻璃和陶瓷等材料的加工需求。
02
高精度
采用高精度接口設計，錐面跳動≤0.5μm，刀座裝刀面的徑向跳動和軸向竄動均≤1μm，主軸連續加工時伸長量波動≤0.3μm，達到國際先進水平，確保高加工精度和高良品率。
03
高可靠性
優化主軸防水、防塵性能，電機防護等級IP67，采用優質碳刷材質，連續工作長達6525小時，增強耐用性，減少維護成本和停機時間，延長設備壽命，提升投資回報率。
04
高性價比
與專業變頻器廠家合作，為電主軸匹配最佳驅動參數，溫升降低16.7%，整合資源后，我們能夠為客戶節約30%的采購成本，提供了具有高性價比的解決方案。
02
高精度、高剛性、超強密封 晶棒加工利器
高精度磨外圓電主軸
01
高精度
內、外砂輪座外圓與端面全跳動≤5um，內砂輪座重復定位精度≤1um，主軸振動≤0.5mm/s，加工出來尺寸公差控制在0.002mm以內，具有無與倫比的高精度的特性。
02
多功能
主軸配備兩個可控制伸縮的砂輪座，實現內、外砂輪工況切換。
03
高剛性、大承載
外軸采用短跨距設計，配置大尺寸、大球徑軸承；內軸則采用大軸徑軸系設計，并配置多層軸承支撐；主軸配置額定功率17.6kW、額定扭矩48Nm、最高轉速4000rpm的永磁電機，使主軸具有高剛性、低振動、高承載能力的特點。
04
超強前端密封
前端密封設計采用迷宮密封、氣幕密封與骨架油封相結合的方式，確保在0.2MPa的氣封條件下，能完全阻止異物進入主軸，主軸的防護等級達到IP65。
03
低振動、高剛性、高承載 半導體超精加工
高精度晶圓倒角機主軸
01
高剛性、低振動
主軸采用創新型結構設計，具有低振動(全轉速振動≤0.6mm/s)、高剛性(剛度≥12N/μm)、高承載(承載力≥200 N)的優勢，能夠輕松應對晶圓的倒角加工。
02
高精度
通過結合氣體靜壓軸承的均化效應和極高的零件加工精度，實現了比滾珠軸承電主軸更高的靜態和動態精度(低至200納米)。
03
高可靠性
采用螺旋冷卻結構，主軸保持恒溫加工，各項性能穩定可靠，這不僅顯著延長了主軸的使用壽命，降低了維護成本，更帶來了無與倫比的長時間穩定生產能力。
04
回轉運動誤差，低至20納米
氣浮超精密晶圓研磨電主軸
01
高性能電機
主軸配備高性能交流永磁同步電機，連續額定輸出扭矩可達13.5N•m，強勁扭力輕松應對碳化硅等超硬材料的加工需求。
02
高效率冷卻系統
三段式冷卻結構提升冷卻效率，溫升小，熱穩定時間≤20min，熱伸長波動≤100nm。非接觸式軸芯中心出水結構和砂輪冷卻流道同時冷卻軸芯和砂輪，提高加工過程中的精度保持和表面處理質量，減少因溫度波動導致的加工誤差。
03
高加工質量
主軸全轉速振動≤0.1mm/s，軸向剛度450N/μm，徑向剛度150N/μm，回轉運動誤差低至20納米，使得8英寸工件研磨后表面TTV≤3μm，粗糙度Ra≤0.02μm，保障了晶圓等產品的高質量加工。
05
連續額定輸出扭矩可達18N•m高性能主軸
氣浮超精密晶圓研磨電主軸
01
高性能電機
主軸配備高性能交流永磁同步電機，連續額定輸出扭矩可達18N•m，強勁扭力輕松應對碳化硅等超硬材料的加工需求。
02
高效率冷卻系統
三段式冷卻結構提升冷卻效率，溫升小，熱穩定時間≤20min，熱伸長波動≤100nm。非接觸式軸芯中心出水結構和砂輪冷卻流道同時冷卻軸芯和砂輪，提高加工過程中的精度保持和表面處理質量，減少因溫度波動導致的加工誤差。
03
高加工質量
主軸全轉速振動≤0.1mm/s，軸向剛度800N/μm，徑向剛度200N/μm，回轉運動誤差低至20納米，使得12英寸工件研磨后表面TTV≤3μm，粗糙度Ra≤0.02μm，保障了晶圓等產品的高質量加工。
06
最高轉速達到4800rpm 晶圓超精密檢測空氣靜壓轉臺
01
非接觸式真空吸
氣浮套上設計有獨特的槽型空腔結構和采用小間隙密封結構，實現了非接觸高速真空吸功能，避免了轉臺使用接觸式旋轉接頭后對精度產生的影響。
02
快速啟停
轉臺配備的高性能電機可持續輸出8N.m的扭矩，并且對軸芯進行高精度動平衡后，轉臺可實現2S內直升4800rpm并達到轉速穩定，提高檢測效率。
03
高定位精度
轉臺兼顧最高4800rpm的同時，定位精度≤士20urad(≤士4.12”)，重復精度≤士10urad(≤士2.06”)。
07
定位精度達±2.5”高性能轉臺 高精密晶圓研磨機轉臺
01
高精度
我司具備軸芯、軸承等零部件的超精密加工能力，加上液體油膜固有的“誤差均化效應”使得液體動靜壓轉臺具有超高回轉精度(小于0.1μm)。搭配光柵編碼器，定位精度可達±2.5”，重復定位達±1”。
02
高性能
配置三相交流永磁同步電機，功率1.3kW，最高轉速142rpm，動態響應快。采用氣動鉗夾，增強了鎖緊力矩和結構穩定性，確保了在生產過程中的高品質和可靠性。
03
高穩定性
采用液靜壓軸承，軸芯油膜懸浮實現無磨損運行，延長設備的使用壽命，油膜吸振減少轉臺振動，賦予了設備高剛性和加工穩定性等突出特點，顯著提升了產品的加工能力。
08
伺服驅動器+直驅電機
01
驅動器
高帶寬、高采樣頻率、高響應速度;智能參數自整定，機械振動抑制能力;支持多種編碼器反饋協議和多種控制方式，方便的自整定功能，電流環周期62.5us，速度/位置環周期500us。
02
微型對位臺
結構緊湊尺寸小;直線導軌負載大;驅動力響應快;糾偏對位精度高。
03
IC高速分選
用于芯片設計檢驗段和成品終測(FT)環節，是終測環節重要檢測設備之一；16-24個工位/旋轉角度:15°~22.5°，測試時間:35~60ms，產能:20~60K/h。
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