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深圳市冬紅科技有限公司
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電鏡磁場消除系統（主動消磁器）HSR2iX系列通過動態創建幾乎相等且方向相反的磁場來穩定電子束相關的設備周圍的環境磁場，改善各種電子束、離子束設備周圍惡劣的磁場環境，保障設備使用的磁場環境要求。
產品概述：
HSR2iX系列電鏡磁場消除系統（主動消磁器）通過動態創建幾乎相等且方向相反的磁場來穩定電子束相關的設備周圍的環境磁場，改善各種電子束、離子束設備周圍惡劣的磁場環境，保障設備使用的磁場環境要求。
HSR2iX系列電鏡磁場消除系統（主動消磁器）由磁傳感器感知單元、磁場發生單元、磁場控制單元、顯控單元等構成。綜合了低噪聲磁敏感技術、消磁線圈優化設計技術、磁場自動控制技術，實現了對寬頻帶雜散磁場的自動跟蹤補償，達到穩定磁場的目的。
根據具體用途，HSR2iX系列磁場消除系統具有三種不同型號：HSR2i01、HSR2i02和HSR2i03。（特殊情況可定制）
工作原理：
通過三分量磁場傳感器實現雜散磁場的感知，并將感知到的信號送入智能磁場控制單元；智能磁場控制單元實時產生一個電流信號，該電流通過磁場產生單元產生與雜散磁場方向相反、大小相等的磁場，在工作區實現了磁場的疊加從而得到穩定的磁場環境。
技術參數：
型號 | HSR2i01 | HSR2i02 | HSR2i03 |
用途 | 消除所有類型電子顯微鏡的交流磁場 | 消除所有類型電子顯微鏡的交流和直流磁場 | 消除半導體潔凈室中CDSEM工具的12kHz磁場。也可以消除這些工具的交流和直流磁場 |
消磁線圈 | 干擾磁場消除繞組 系統自檢繞組 | 固有地磁場消除繞組 干擾磁場消除繞組 系統自檢繞組 | 固有地磁場消除繞組 干擾磁場消除繞組 系統自檢繞組 |
待消除磁場 | X, Y, Z磁場 | X, Y, Z磁場 | X, Y, Z磁場 |
磁場測量類型 | AC RMS and pk-pk | Real time field AC RMS and pk-pk DC incremental | Real time field AC RMS and pk-pk DC incremental |
測量精度 | ±0.5% Reading ± 100pT | ±0.5% Reading ± 1 nT | ±0.5% Reading ± 1 nT |
磁場動態范圍 | ≤60 mG（6.0 µT） | ≤4.8 μT pk-pk | 5 μT pk-pk |
頻率帶寬 | 2.5 Hz至3kHz | DC至5 kHz | DC至12 kHz |
噪聲限值 | <0.7nT RMS(0.1 Hz ～ 3 kHz) | 1.5nTRMS(0.1Hz ～ 5 kHz) | 0.5 nT RMS(0.1 Hz ～ 12 kHz) |
直流漂移 | N/A | < 2 nT/ 24 hours | < 2 nT/ 24 hours |
直流磁場限值 | N/A | ± 200 μT max | ± 200 μT max |
系統響應時間 | 10 µs內 | 10 µs內 | 2 µs內 |
磁場穩定性 | <2 nT/24 h@（20℃~25℃，預熱0.5 h） | <2nT/24h@（20℃~25℃，預熱0.5 h） | <2nT/24 h@（20℃~25℃，預熱0.5 h） |
衰減系數 | >50 dB @0.1 Hz >30 dB @50 Hz | >60 dB @0.1 Hz >40 dB @50 Hz >20 dB @5 kHz | >60 dB @0.1 Hz >40 dB @50 Hz >20 dB @10 kHz |
產品應用：
1. 生命科學領域的冷凍電鏡
2. 材料科學領域的掃描電鏡
3. 化工領域中的原理分析用電鏡
4. 半導體工藝中的缺陷分析用電鏡
5. 納米制造領域的加工精度保證
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