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    英福康Transpector XPR3L 氣體分析系統四極質譜儀
    
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								更新時間：2024-02-14 07:28:11瀏覽次數：82次
							
    
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    經營模式：其他
    
						
    商鋪產品：10條
    
						
    所在地區：
    
						
    聯系人：王建峰,趙彬山
    												
					
    
				
    
			
    			
    
                                
    
                    產品簡介
                
    
				
    
                      
    
                                                                      
    
					
    XPR3L 提供的 PVD 過程監控解決方案可以實時提供有關過程氣體壓力、氣體比率、污染級別、雜質和泄漏情況的信息。此信息可用于大限度提高過程良率和產品質量。XPR3L 提供的本底監控解決方案可以通過快速檢測和診斷泄漏及污染，提高預防性維護程序的有效性和效率。
    
				
    
				
    
                    詳細介紹
                
    
			    
    
			        
    
			                         
     
     
     Transpector XPR3L 氣體分析系統 
     
       
     
     通過監測氣體壓力、檢測污染和查找泄漏，優化太陽能電池和 LCD 過程良率  
     
     
     用于監控過程氣體和基本真空條件的工具是 Transpector ® XPR3L 氣體分析系統提供的經濟高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 過程監控解決方案可以實時提供有關過程氣體壓力、氣體比率、污染級別、雜質和泄漏情況的信息。此信息可用于大限度提高過程良率和產品質量。XPR3L 提供的本底監控解決方案可以通過快速檢測和診斷泄漏及污染，提高預防性維護程序的有效性和效率。  
     
     
     
     
     功能  
     
       
    •  通過運行高達 10mTorr（可選 20mTorr）的 UHV，提供經濟實惠的雙用功能、過程監控和基本真空保證  
      •  
    •  經濟高效的過程監控器，可用于可擴展的生產設計  
      •  
    •  通過持續自動監控過程氣體壓力、氣體比率和可能存在的污染或雜質，提高過程良率，減少碎片，提高產品質量  
      •  
    •  通過以高靈敏度和*小可檢分壓強驗證基本真空條件、查找泄漏以及鑒別污染，加快 PM 恢復，提高生產力  
      •  
    •  可在 1 - 100 amu 質量范圍內運行，能夠檢測各種材料、污染或副產品，確保您的投資安全，降低投資風險  
      •  
    •  與 FabGuard 監控和分析系統相兼容，提供可靠、的診斷和過程控制  
      •  
     
     典型應用  
     
       
    •  太陽能/光伏設備制造  
      •  
    •  LCD 制造  
      •  
    •  PVD 過程監控  
      •  
    •  監控過程氣體壓力和氣體比率  
      •  
    •  暴露和鑒別污染  
      •  
    •  檢測和查找泄漏（空氣、氦氣、水及其他蒸汽）  
      •  
    •  PM 恢復/故障排除和驗證基本真空  
      •  
     
     
     
     
     
     
     
             
			        
    
			    
    
                                                				
    
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