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    中山安源儀器有限公司


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    日立FlexSEM 1000掃描電子顯微鏡

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    更新時間:2023-07-25 10:09:43瀏覽次數:178次

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    產品簡介

    特點緊湊型設計

    詳細介紹


    特點

    緊湊型設計,分辨率為4 nm*1

    通過高靈敏度二次電子探測器,背散射探測器,低真空探測器(UVD*2),實現低加速電壓/低真空下高質量圖像觀察

    操作簡捷,即使新手也能拍出高質量的圖片

    新開發的導航功能「SEM MAP」,便于快速鎖定視野

    大窗口(30 mm2)SDD能譜系統,便于快速分析元素成分*2

    規格

    項目

    內容

    分解能*3

    4.0 nm @ 20 kV (SE:高真空模式)
    15.0 nm @ 1 kV (SE:高真空模式)
    5.0 nm @ 20 kV (BSE:低真空模式)

    加速電壓

    0.3 kV ~ 20 kV

    放大倍率

    6× ~ 300,000× (底片倍率)
    16× ~ 800,000× (顯示倍率)

    低真空模式

    真空范圍:6 ~ 100 Pa

    電子槍

    預對中鎢燈絲

    樣品臺

    3-軸自動馬達臺
    X:0 ~ 40 mm, Y:0 ~ 50 mm, Z:5 ~ 15 mm
    R:360°, T:-15° ~ +90°

    樣品尺寸

    直徑80 mm

    樣品高度

    40 mm

    尺寸

    主機:450(W) x 640(D) x 670(H) mm
    供電單元:450(W) x 640(D) x 450(H) mm

    探測器選配

    · 高靈敏度低真空二次電子探測器(UVD)

    · 能量分散型X線探測器(EDS)


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